合肥真萍電子科技有限公司
安徽旭騰微電子設備有限公司
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擴散/氧化爐是半導體生產重要(yao)工藝(yi)，擴散是在高溫條件下，利(li)用熱(re)擴散原理將雜質元素(su)按要(yao)求的深度摻入硅襯(chen)底中，
使其(qi)具有特定(ding)的(de)濃度分布，達到(dao)改變(bian)材料的(de)電(dian)學(xue)特性，形成(cheng)半導體器件結構(gou)的(de)目的(de)。可用于制作PN結或構(gou)成(cheng)集(ji)成(cheng)電(dian)路中的(de)
電(dian)阻、電(dian)容、二極管和晶體管等器件(jian)。氧化(hua)是將硅片(pian)放置于氧氣或水(shui)蒸氣的(de)氛圍中進行高溫熱處理，在硅片(pian)表面(mian)形成(cheng)氧化(hua)膜
的(de)過程，可作(zuo)為(wei)離子注(zhu)入(ru)的(de)阻擋層及注(zhu)入(ru)穿(chuan)透層、表面鈍化、器件(jian)結構的(de)介質層等。
設備(bei) 特點(dian) | 可滿足(zu)閉管干氧(yang)(yang)氧(yang)(yang)化(hua)、濕(shi)氧(yang)(yang)氧(yang)(yang)化(hua)、氫氧(yang)(yang)合成氧(yang)(yang)化(hua)工(gong)藝 |
采(cai)用高可靠性工控(kong)機+PLC模式，對爐(lu)溫(wen)、進退舟、氣(qi)體流量、閥門(men)進行全自(zi)動(dong)控(kong)制,實現全部工藝過(guo)程(cheng)自(zi)動(dong)化； | |
具有友好的人機界面，用(yong)戶可以方(fang)便地修(xiu)改工(gong)(gong)藝控(kong)制參數，并可隨(sui)時顯示各種工(gong)(gong)藝狀態； | |
具有(you)多種(zhong)工(gong)藝管路，可供用戶(hu)方便選擇； | |
具(ju)有強大的軟(ruan)件功(gong)能，配有故障自診斷軟(ruan)件，可大大節省維修時間(jian)； | |
恒(heng)溫區自動調整，串級控制(zhi)，可(ke)準確控制(zhi)反應管的實(shi)際工藝溫度； | |
具有(you)超(chao)溫、斷偶(ou)、熱偶(ou)短(duan)路(lu)、工藝氣體流量偏差報警和保護功能； | |
可根據用戶要求定制產品。 |
產品功能：
擴(kuo)(kuo)散(san)/氧化(hua)爐(lu)是(shi)半導體生(sheng)產(chan)重要工藝，擴(kuo)(kuo)散(san)是(shi)在高溫條件(jian)下(xia)，利用(yong)熱擴(kuo)(kuo)散(san)原理(li)將(jiang)雜(za)質元素按要求的深度摻入硅襯底(di)中，
使其(qi)具有特定的濃(nong)度分(fen)布，達到改變材料的電學特性，形成(cheng)半導體器件結構(gou)的目的。可用(yong)于制作PN結或構(gou)成(cheng)集成(cheng)電路(lu)中的
電阻(zu)、電容、二極管和(he)晶體管等器(qi)件。氧(yang)(yang)化(hua)是將硅(gui)片(pian)放置(zhi)于氧(yang)(yang)氣或水蒸氣的氛圍(wei)中進(jin)行高溫(wen)熱處理，在硅(gui)片(pian)表(biao)面(mian)形成氧(yang)(yang)化(hua)膜
的(de)過程(cheng)，可作為(wei)離子注入的(de)阻(zu)擋(dang)層(ceng)(ceng)及注入穿透層(ceng)(ceng)、表(biao)面鈍化、器件(jian)結(jie)構(gou)的(de)介(jie)質層(ceng)(ceng)等(deng)。
設備 特點(dian) | 可滿足閉管干氧(yang)氧(yang)化(hua)、濕氧(yang)氧(yang)化(hua)、氫氧(yang)合成氧(yang)化(hua)工藝 |
采用高可靠(kao)性工控機+PLC模式，對爐溫、進(jin)退(tui)舟、氣體流量、閥(fa)門進(jin)行全自(zi)動控制,實現全部(bu)工藝過程自(zi)動化； | |
具有友好的人機(ji)界面，用戶可以(yi)方便(bian)地(di)修(xiu)改工(gong)藝(yi)(yi)控制參數，并可隨(sui)時(shi)顯(xian)示各種工(gong)藝(yi)(yi)狀態； | |
具有多(duo)種工藝管路，可(ke)供用戶方便選(xuan)擇； | |
具有強(qiang)大(da)的軟(ruan)件功能，配(pei)有故障自診斷(duan)軟(ruan)件，可大(da)大(da)節省維修時(shi)間； | |
恒溫區自動(dong)調整(zheng)，串級控制，可準確控制反應管(guan)的實際工藝溫度(du)； | |
具有超溫(wen)、斷偶(ou)、熱偶(ou)短(duan)路(lu)、工藝氣體流量偏差報(bao)警和保護功能； | |
可根據用戶要求定制產(chan)品。 |
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