合肥真萍電子科技有限公司
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1.一體式(shi)人機操作(zuo)系統，連續式(shi)自(zi)動(dong)化(hua)生產，工作(zuo)效(xiao)率(lv)高，節約人工成本(ben)、電(dian)能及工藝時間；
2.FEC加熱，升(sheng)溫迅(xun)速且均勻度好；
3.優質不(bu)銹鋼材質，表(biao)面(mian)經(jing)物理(li)及化學(xue)拋(pao)光處理(li)，確保潔凈度；
技術參數：
型號(hao) | TAST2075D112-N | TAST3075D112-N | |||||
處理產品 | 6/8/12inch 晶圓(yuan) | 處(chu)理量 | 100PCS/管 | ||||
加熱器(qi) | 圓(yuan)形(xing)FEC加熱板 | ||||||
上(shang)料口 | 2個 | 機械(xie)手 | 1 | ||||
溫度范圍 | 長期使用溫度: 1050℃，最高溫度(du)：1200℃ | ||||||
升溫速率(lv) | ＜10℃/min | 降(jiang)溫速率 | ＜5℃/min | ||||
爐溫均勻性 | ±℃（1050℃恒溫） | 加熱溫區(qu) | 3個 | ||||
溫度(du)控制(zhi)方式 | SSR | 程序(xu)控制 | P.I.D控制 | ||||
爐膛材料 | 石(shi)英(ying) | 保溫材料 | 陶瓷纖維 | ||||
氣氛(fen)控制(zhi) | 多路流量(liang)計調節(jie)進氣，流量計量程(cheng)：0-150L/min | 氣氛 | N2 | ||||
排(pai)氣系統(tong) | 在頂部設(she)置(zhi)排氣煙囪，用于廢氣排放,回收 | ||||||
產品特點：
1.一體式(shi)人機操作(zuo)系統(tong)，連(lian)續式(shi)自(zi)動化生產，工(gong)作(zuo)效率高，節約人工(gong)成(cheng)本、電(dian)能(neng)及(ji)工(gong)藝時間；
2.FEC加熱，升溫迅速且均(jun)勻度好；
3.優質不銹鋼材質，表(biao)面經物理及(ji)化學拋光處(chu)理，確保潔(jie)凈度；
技術參數：
型號(hao) | TAST2075D112-N | TAST3075D112-N | |||||
處理產品 | 6/8/12inch 晶(jing)圓 | 處理(li)量 | 100PCS/管(guan) | ||||
加熱器 | 圓形FEC加熱板 | ||||||
上料口 | 2個 | 機(ji)械手 | 1 | ||||
溫度(du)范圍 | 長(chang)期使用(yong)溫度: 1050℃，最高(gao)溫度：1200℃ | ||||||
升溫(wen)速率 | ＜10℃/min | 降溫速率 | ＜5℃/min | ||||
爐溫均勻性 | ±℃（1050℃恒溫） | 加(jia)熱溫區 | 3個 | ||||
溫度控制方式(shi) | SSR | 程序控制 | P.I.D控(kong)制 | ||||
爐膛材料 | 石英 | 保溫(wen)材(cai)料 | 陶瓷纖維 | ||||
氣氛(fen)控制(zhi) | 多路流量計調節進(jin)氣，流量(liang)計量(liang)程：0-150L/min | 氣氛 | N2 | ||||
排氣系(xi)統 | 在頂(ding)部設置排氣(qi)煙囪，用(yong)于廢(fei)氣(qi)排放,回收 | ||||||
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