合肥真萍電子科技有限公司
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1.一(yi)體式人機操作系統(tong)，連續式自動化生(sheng)產，工作效率(lv)高，節約人工成本、電(dian)能及(ji)工藝時間；
2.FEC加熱，升溫(wen)迅速且(qie)均(jun)勻(yun)度好；
3.優質不銹鋼材質，表(biao)面(mian)經物理及化學(xue)拋光處理，確(que)保潔凈度；
4.自(zi)帶自(zi)清(qing)潔功能——高溫(wen)清(qing)潔。
技術參數：
型(xing)號 | TASS15100D112-N0 | TASS20100D112-N0 | |||||
處理(li)產品 | 6/8inch 晶圓 | 處理量 | 100PCS/管 | ||||
加(jia)熱器 | 圓形(xing)FEC加熱板 | ||||||
上(shang)料口 | 2個 | 機械(xie)手 | 1 | ||||
溫度范圍(wei) | 長期使用溫(wen)度: 950℃，最(zui)高溫度：1200℃ | ||||||
升溫速(su)率 | ＜8℃/min | 降溫速率 | ＜7℃/min | ||||
加熱功率 | 30kW(單爐) | 加熱溫區 | 3個 | ||||
爐溫均勻性 | ±2℃（950℃恒溫(wen)） | 控(kong)溫熱(re)偶 | K分度(du) | ||||
溫(wen)度控制方(fang)式(shi) | SSR | 程(cheng)序控制(zhi) | P.I.D控制 | ||||
爐膛材料 | 石英 | 保溫材料(liao) | 陶瓷纖維 | ||||
氣氛控制 | 多路流(liu)量計(ji)調節進氣 流量計量程： 1）0-150L/min 氮氣 2）0-40L/min 氧(yang)氣 | 氣氛 | N2/O2 | ||||
排氣(qi)系統 | 在頂部(bu)設置排(pai)氣煙囪，用(yong)于廢氣排(pai)放,回收 | ||||||
產品特點：
1.一體式人機操作(zuo)系統，連續式自動化生產，工作(zuo)效率高，節約(yue)人工成本(ben)、電能及工藝時間；
; 2.FEC加(jia)熱(re)，升(sheng)溫(wen)迅速且均勻度好；
3.優質(zhi)不銹鋼材(cai)質(zhi)，表面經物理(li)及化學拋(pao)光處(chu)理(li)，確保潔凈(jing)度；
4.自(zi)帶自(zi)清潔功(gong)能——高溫(wen)清潔。
技術參數：
型號 | TASS15100D112-N0 | TASS20100D112-N0 | |||||
處理(li)產品(pin) | 6/8inch 晶圓(yuan) | 處理量 | 100PCS/管(guan) | ||||
加熱(re)器 | 圓形(xing)FEC加熱(re)板 | ||||||
上料口 | 2個 | 機械手(shou) | 1 | ||||
溫度范圍 | 長(chang)期(qi)使用溫度: 950℃，最(zui)高溫度：1200℃ | ||||||
升溫速率 | ＜8℃/min | 降溫(wen)速率(lv) | ＜7℃/min | ||||
加熱(re)功率 | 30kW(單爐) | 加熱溫區 | 3個 | ||||
爐(lu)溫均勻性(xing) | ±2℃（950℃恒(heng)溫） | 控溫熱偶(ou) | K分度 | ||||
溫(wen)度控制方(fang)式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控(kong)制(zhi) | ||||
爐膛(tang)材料(liao) | 石(shi)英 | 保溫材料 | 陶瓷纖(xian)維 | ||||
氣氛控制 | 多(duo)路流(liu)量(liang)計調(diao)節進氣 流量計(ji)量程(cheng)： 1）0-150L/min 氮氣 2）0-40L/min 氧氣 | 氣氛 | N2/O2 | ||||
排氣系(xi)統(tong) | 在頂部設(she)置排(pai)(pai)氣(qi)煙囪，用于(yu)廢氣(qi)排(pai)(pai)放,回收 | ||||||
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