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全自動真空立式烤箱

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產品用途：真空面向是晶圓和先進封裝段應用于低溫烘烤，烘干，除水。
產品詳情

技術參數：


型號(hao)

TASZ3050D203-N

TASZ3050D403-N

產(chan)品特點

 可搭載OHT實現無人化操(cao)作，節省空間，真空下低溫烘烤縮(suo)短工藝時間，產(chan)品(pin)保護產(chan)品(pin)性能提升。

氧氣含量(liang)

50PPM

工藝溫度

室溫(wen)+30-300℃

產品規格

8/12inch 晶圓

存放(fang)數量

50PCS/管

加熱器(qi)

熱(re)電阻(zu)加(jia)熱(re)

上料口

2個

機械(xie)手

1

溫度范圍

長期使用溫度: 200℃，最高溫度：300℃

升溫速率

1~5℃/min

降溫速率

3℃/min

加熱功率

22KW

加熱溫(wen)區(qu)

3個

爐溫(wen)均勻(yun)性(xing)

±3℃

控(kong)溫熱偶

K分度

溫度控制方(fang)式

SSR

程序控制(zhi)

P.I.D控制

爐腔材料

SUS316L

保(bao)溫材料(liao)

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計調節進氣

氣氛

N2

真空度(du)

≤10pa

潔(jie)凈度(du)

Class 100

翹(qiao)曲(qu)度

12寸翹(qiao)曲度≤2mm；

8寸翹曲度≤1mm

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產品用途：真空面向是晶圓和先進封裝段應用于低溫烘烤，烘干，除水。
產品詳情

技術參數：


型號

TASZ3050D203-N

TASZ3050D403-N

產品特(te)點

 可搭載OHT實現無人化操作，節省空間(jian)，真空下低溫烘(hong)烤縮(suo)短工藝時間(jian)，產(chan)(chan)品(pin)保護產(chan)(chan)品(pin)性能提升。

氧氣含(han)量

50PPM

工(gong)藝溫度

室溫+30-300℃

產品規(gui)格

8/12inch 晶圓

存放數量

50PCS/管

加熱器

熱電阻加熱

上(shang)料口(kou)

2個(ge)

機械手

1

溫度范圍

長(chang)期使用溫度: 200℃，最高溫度：300℃

升(sheng)溫速率

1~5℃/min

降溫速率

3℃/min

加熱(re)功率

22KW

加(jia)熱溫區

3個

爐溫(wen)均勻性

±3℃

控溫熱偶

K分度

溫度(du)控制方(fang)式

SSR

程序(xu)控(kong)制

P.I.D控(kong)制

爐腔材料

SUS316L

保溫(wen)材料

陶瓷纖維

氣(qi)氛(fen)控(kong)制

多路流量計調節進氣

氣氛

N2

真(zhen)空(kong)度

≤10pa

潔凈度(du)

Class 100

翹曲度

12寸翹曲度≤2mm；

8寸翹曲度(du)≤1mm

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