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地(di)址(zhi)：中國.安(an)徽(hui)省合肥市(shi)國家 級經濟(ji)技術開發(fa)區(qu)云谷(gu)路4708號

單管全自動立式爐（PI Cuer,退火，合金）

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產品用途：
集成電路圓片膠， BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC晶圓、CMOS、Bumping、TSV、
MEMS、指紋識別；集成電路圓片快速退火。
產品詳情

產品特點：

   1.一體式(shi)人(ren)機操作(zuo)系統，連續式(shi)自動(dong)化生產，工作(zuo)效(xiao)率(lv)高，節(jie)約人(ren)工成本(ben)、電(dian)能及工藝時間；

   2.FEC加熱，升溫迅速且均勻(yun)度好；

   3.優質(zhi)不銹鋼材質(zhi)，表面經物(wu)理及化學拋光處(chu)理，確保潔凈度(du)；

   4.自(zi)帶自(zi)清潔功能——高溫清潔。


技術參數：

型號

TASF3075D107-N0

TASF3075D207-N0

TASF3075D407-N0

處(chu)理產品(pin)

8/12inch 晶(jing)圓

處(chu)理(li)量

100/75PCS/管

加熱器

圓形FEC加熱板

上(shang)料口

4個(ge) 

機械手

1

溫度(du)范圍

長期使用溫度: 350℃，最高(gao)溫(wen)度：750℃

升溫速率

＜8℃/min

降溫速率

＜7℃/min

加(jia)熱功率

30kW(單爐)*2

加(jia)熱(re)溫區

3個*2

爐溫均勻性

±2℃（350℃恒溫）

控溫熱偶

K分度

溫(wen)度(du)控制方式

SSR

程序控制

P.I.D控制

爐膛材料(liao)

石英

保溫材料

陶瓷(ci)纖維

氣氛控(kong)制

多(duo)路流量計調節進氣

流量(liang)(liang)計量(liang)(liang)程(cheng)：

1）0-150L/min  氮(dan)氣

2）0-40L/min  氧氣

氣(qi)氛

N2/O2

排氣系(xi)統

在頂部設置(zhi)排氣(qi)煙囪，用于廢氣(qi)排放,回收



單管全自動立式爐（PI Cuer,退火，合金）
單管全自動立式爐（PI Cuer,退火，合金）

單管全自動立式爐（PI Cuer,退火，合金）

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產品用途：
集成電路圓片膠， BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC晶圓、CMOS、Bumping、TSV、
MEMS、指紋識別；集成電路圓片快速退火。
產品詳情

產品特點：

   1.一(yi)體(ti)式(shi)人機操作系統，連續(xu)式(shi)自動化生產(chan)，工(gong)作效率高(gao)，節(jie)約人工(gong)成本(ben)、電(dian)能(neng)及(ji)工(gong)藝(yi)時(shi)間(jian)；

   2.FEC加熱，升溫迅速且均勻(yun)度(du)好(hao)；

   3.優質(zhi)不(bu)銹鋼材質(zhi)，表面經物(wu)理及化學拋光處理，確保潔凈度；

   4.自帶自清潔功能——高(gao)溫清潔。


技術參數：

型號

TASF3075D107-N0

TASF3075D207-N0

TASF3075D407-N0

處理產(chan)品

8/12inch 晶圓(yuan)

處理量

100/75PCS/管

加熱器

圓形FEC加熱板

上料口(kou)

4個 

機(ji)械手(shou)

1

溫(wen)度范圍(wei)

長期使用溫度: 350℃，最高溫(wen)度(du)：750℃

升溫速率

＜8℃/min

降溫速率

＜7℃/min

加熱(re)功率

30kW(單爐)*2

加(jia)熱(re)溫區(qu)

3個(ge)*2

爐溫(wen)均勻性

±2℃（350℃恒溫）

控溫熱偶

K分度

溫度控制方式

SSR

程序(xu)控(kong)制

P.I.D控制

爐(lu)膛材(cai)料(liao)

石英

保溫材(cai)料(liao)

陶(tao)瓷纖維

氣氛控制

多路(lu)流量計(ji)調(diao)節進氣(qi)

流量計量程：

1）0-150L/min  氮氣

2）0-40L/min  氧氣

氣氛

N2/O2

排氣(qi)系統

在頂部設置排氣煙囪(cong)，用于廢氣排放,回收



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