合肥真萍電子科技有限公司
安徽旭騰微電子設備有限公司
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1.一(yi)體(ti)式(shi)人(ren)機操作(zuo)(zuo)系統，連續式(shi)自(zi)動化生產，工(gong)作(zuo)(zuo)效率(lv)高，節約(yue)人(ren)工(gong)成本、電能及工(gong)藝時間；
2.FEC加(jia)熱，升(sheng)溫(wen)迅速且均(jun)勻(yun)度好；
3.優質不銹鋼材質，表面(mian)經物理及化學拋光(guang)處理，確保潔(jie)凈度；
4.自(zi)帶自(zi)清潔功(gong)能——高(gao)溫清潔。
技術參數：
型(xing)號 | TASF3075D107-N0 | TASF3075D207-N0 | TASF3075D407-N0 | |||
處理產品(pin) | 8/12inch 晶圓 | 處理量 | 100/75PCS/管 | |||
加熱器 | 圓(yuan)形(xing)FEC加熱板 | |||||
上料(liao)口 | 4個 | 機械(xie)手 | 1 | |||
溫(wen)度范圍 | 長期使用(yong)溫度: 350℃，最高溫度：750℃ | |||||
升(sheng)溫速率 | ＜8℃/min | 降溫速(su)率 | ＜7℃/min | |||
加熱(re)功率 | 30kW(單爐)*2 | 加熱溫區 | 3個*2 | |||
爐溫(wen)均勻性 | ±2℃（350℃恒溫） | 控溫熱偶 | K分度 | |||
溫(wen)度控(kong)制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控(kong)制(zhi) | |||
爐膛(tang)材料 | 石英 | 保溫材料 | 陶(tao)瓷纖(xian)維 | |||
氣(qi)氛控(kong)制 | 多路流量(liang)計調節進氣 流量(liang)計量(liang)程： 1）0-150L/min 氮(dan)氣 2）0-40L/min 氧氣(qi) | 氣氛 | N2/O2 | |||
排氣(qi)系統 | 在頂部設置(zhi)排氣煙(yan)囪，用于(yu)廢(fei)氣排放(fang),回(hui)收 | |||||
產品特點：
1.一體式(shi)(shi)人(ren)機操作系(xi)統，連續(xu)式(shi)(shi)自動(dong)化生產(chan)，工(gong)作效率高(gao)，節約人(ren)工(gong)成本、電能及工(gong)藝時間；
2.FEC加熱(re)，升溫迅速(su)且(qie)均勻度(du)好(hao)；
3.優質不(bu)銹鋼材(cai)質，表面經(jing)物理(li)及化(hua)學拋光處理(li)，確保潔凈度；
4.自帶(dai)自清(qing)潔(jie)功能——高溫清(qing)潔(jie)。
技術參數：
型號 | TASF3075D107-N0 | TASF3075D207-N0 | TASF3075D407-N0 | |||
處理(li)產品 | 8/12inch 晶圓(yuan) | 處理量(liang) | 100/75PCS/管 | |||
加熱器 | 圓(yuan)形(xing)FEC加熱(re)板 | |||||
上料口 | 4個 | 機(ji)械手 | 1 | |||
溫度范圍 | 長期使用溫度: 350℃，最(zui)高溫度：750℃ | |||||
升溫速率 | ＜8℃/min | 降溫速率 | ＜7℃/min | |||
加熱(re)功率 | 30kW(單爐)*2 | 加(jia)熱溫區(qu) | 3個*2 | |||
爐溫均勻性 | ±2℃（350℃恒溫） | 控溫熱偶 | K分度(du) | |||
溫度控制(zhi)方(fang)式(shi) | SSR | 程序控制 | P.I.D控(kong)制 | |||
爐膛(tang)材料 | 石(shi)英 | 保溫材料(liao) | 陶瓷纖維 | |||
氣(qi)氛控制 | 多路流量計調節進(jin)氣 流量計量程(cheng)： 1）0-150L/min 氮氣 2）0-40L/min 氧氣 | 氣(qi)氛(fen) | N2/O2 | |||
排氣系統 | 在(zai)頂部設置排氣(qi)煙囪，用于廢氣(qi)排放,回(hui)收 | |||||
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