合肥真萍電子科技有限公司
安徽旭騰微電子設備有限公司
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真(zhen)空計(ji)算公(gong)式(shi)是真(zhen)空領域中非常重要(yao)的(de)工(gong)具,通過這些(xie)公(gong)式(shi),我們(men)可以方便地進行(xing)真(zhen)空度的(de)測量、真(zhen)空系(xi)統的(de)設計(ji)和優化等。
1、玻義爾定律(lv)
體(ti)積V,壓強(qiang)P,P?V=常數(一定質量(liang)的氣(qi)體,當溫度不變時(shi),氣(qi)體的壓(ya)強與氣(qi)體的體積(ji)成反比(bi)。
即P1/P2=V2/V1)
2、蓋(gai)?呂薩克(ke)定律
當壓(ya)強(qiang)P不變時,一定(ding)質量的氣體,其體積V與溫度T成(cheng)正(zheng)比:(V1/V2=T1/T2=常數)
當(dang)壓強不變時,一定質(zhi)量的氣體(ti),溫度每升高(或P降低)1℃,則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。
3、查理定律(lv)
當氣(qi)體的體積(ji)V保持不變,一定質(zhi)量(liang)的氣體,壓強(qiang)P與其他(ta)溫度T成正比(bi),即:P1/P2=T1/T2
在一定(ding)的體(ti)積下,一定(ding)質量的氣體(ti),溫度(du)每升高(或降低(di))1℃,它的壓強比原來增加(或減少)1/273。
4、平均自由程(cheng):
λ=(5×10-3)/P (cm)
5、抽速(su):
S=dv/dt (升/秒)或(huo) S=Q/P
Q=流(liu)量(托?升/秒) P=壓強(托(tuo))V=體(ti)積(ji)(升(sheng)) t=時(shi)間(jian)(秒)
6、通導:
C=Q/(P2-P1) (升/秒(miao))
7、真空(kong)抽(chou)氣時間:
對于從大氣壓到1托(tuo)抽氣時間計算式: t=8V/S (經驗公式)
(V為體積,S為(wei)抽氣速率,通常(chang)t在5~10分(fen)鐘內選擇(ze)。)
8、維持(chi)泵(beng)選擇:
S維=S前/10
9、擴散(san)泵抽速估算:
S=3D2 (D=直徑(jing)cm)
10、羅茨泵(beng)的前級抽(chou)速:
S=(0.1~0.2)S羅(luo) (l/s)
11、漏(lou)率(lv):
Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)
Q漏-系統(tong)漏率(mmHg?l/s) V-系統容積(l)
P1-真(zhen)空泵停止時(shi)系統(tong)中壓強(mmHg)
P2-真空室經過時(shi)間(jian)t后達到的壓強(mmHg)
t-壓強從P1升到(dao)P2經過的(de)時(shi)間(s)
12、粗抽泵的抽速選(xuan)擇:
S=Q1/P預 (l/s)
S=2.3V?lg(Pa/P預(yu))/t
S-機(ji)械泵有效抽速 Q1-真空系統(tong)漏氣(qi)率(托?升/秒)
P預-需(xu)要(yao)達到的(de)預真空度(托) V-真空(kong)系統容積(ji)(升)
t-達到P預時所需(xu)要的時間 Pa-大氣壓值(托)
13、前級泵抽速選擇:
排氣口壓(ya)力低于一個(ge)大氣壓(ya)的(de)傳輸泵(beng)如擴散(san)泵(beng)、油增壓(ya)泵(beng)、羅茨(ci)泵(beng)、渦輪分子泵(beng)等,
它們工(gong)作時需(xu)要前級(ji)(ji)泵(beng)(beng)來維(wei)持其前級(ji)(ji)壓力低于臨界值,選(xuan)用的前級(ji)(ji)泵(beng)(beng)必須能將主(zhu)泵(beng)(beng)的
最(zui)大(da)氣體量排走(zou),根據管路中(zhong),各截面流量恒等的原(yuan)則有:
PnSg≥PgS